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Máquina de recubrimiento pvd al vacío
Material del sustrato: vidrio, metal (acero al carbono, acero inoxidable, latón), cerámica, plástico, joyería.
• Tipo de estructura: Estructura vertical / Estructura horizontal, acero inoxidable # 304.
• Película de recubrimiento: película metálica multifuncional, película compuesta, película conductora transparente, aumento de la reflectancia película, película de blindaje electromagnético, película decorativa.
• Color de la película: multicolores, negro pistola, color dorado titanio, color dorado rosa, acero inoxidable color, color púrpura y otros colores más.
• Tipo de película: TiN, CrN, ZrN, TiCN, TiCrN, TiNC, TiALN y DLC.
• Consumibles en producción: Titanio, Cromo, Circonio, Hierro, aleación objetivo.
Ajuste la válvula del acelerador de alto vacío para reducir el retorno de aceite de la bomba de difusión. En el proceso de recubrimiento por pulverización de magnetrón, la presión de deposición generalmente está en el rango de 10-10-3 Pa. En este momento, para la bomba principal que utiliza la bomba de difusión de alto vacío como sistema de bombeo, es la baja presión de bombeo de la propia bomba. El rango de velocidad, fácil retorno de aceite, afecta directamente la calidad de la membrana.
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